Полировочная плита из высокочистой оксидной керамики
Полировочные плиты из высокочистой керамики (99,7–99,9% Al₂O₃), формуемые по технологии PIBM, разработаны для процессов CMP‑полировки сапфировых и кремниевых пластин. Плиты отличаются высокой размерной стабильностью, термостойкостью и стойкостью к агрессивной химии, доступны в виде дисков и колец диаметром до 850 мм, а также в виде крупных керамических подложек и деталей для оборудования.